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薄膜電容檢測器又稱薄膜微音器,由金屬薄膜片動極和定極組成電容器,當接收氣室內 的氣體壓力受紅外輻射能的影響而變化時,推動電容動片相對于定片移動,把被測組分濃度 變化轉變成電容量變化。
薄膜電容檢測器是紅外線氣體分析器長期使用的 傳統檢測器,目前使用仍然較多。它的特點是溫度變 化影響小、選擇性好、靈敏度高,但必須密封并按交流調制方式工作。其缺點是薄膜易受機械振動的影響,接收氣室漏氣,即使有微漏,也會導 致檢測器失效,調制頻率不能提高,放大器制作比較困難,體積較大等。
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